PHO-SC-4 激光驱动等离子体宽谱光源

PHO-SC-4 激光驱动等离子体宽谱光源采用光致发光，将高能激光汇聚到灯室中，加热氙等离子体至足够高温时发出高亮光。

发射光诺覆盖深紫外到近红外(170-2500nm)，尤其在DUV波段的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。发光寿命可达10000小时，且稳定性得到了极大的提高。

PHO-SC-4 激光驱动等离子体宽谱光源特点：

·超宽连续光谱范围

覆盖170-2500nm波段

·长寿命

激光维持高温等离子体，电极没有磨损，灯泡的寿命达到1万小时

·高稳定的光输出

输出光功率极其稳定，确保测量的可靠性和可重复性

·高辐射照度

极小发光点，高功率密度，易耦合、平行性高

应用领域：

*制造

半导体晶圆缺陷检测、半导体晶圆量测

科学仪器

航空航天光谱遥感分析、海洋油气光谱遥测、光谐仪器分析研究

材料表征

光伏材料、化合物半导体器件开发

生物医学

圆二色光谱、 荧光病理、内窥镜成像、OCT、光动力疗法