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凌云光×JAI亮相无锡,展示全波段成像检测方案,助力“芯”质生产力
点击次数:86 更新时间:2026-09-08

9月2日,第十四届半导体设备材料与核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心落下帷幕。凌云光携手工业相机品牌JAI受邀联合参展,以 以光为眼,为芯把关" 为主题,展出了面向半导体关键工艺环节的多款成像检测方案。为期三天的展期中,展台吸引了众多芯片制造、封测及设备企业的专业观众到访交流。


凌云光×JAI亮相无锡,展示全波段成像检测方案,助力“芯









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红外成像解决方案 | 晶圆引导切割道检测


本次展出的JAI红外面阵成像解决方案是展台重点之一。该方案针对半导体晶圆切割等工艺场景设计,利用短波红外波段对硅材质的穿透性,可实现硅片内部结构的“透视"检测。


方案由短波红外面阵相机、短波红外远心镜头及Revox短波红外LED光纤照明光源组成,相机采用InGaAs芯片,覆盖400-1700nm宽光谱,可穿透硅片表面,探测内部结构,适用于半导体行业中晶圆引导切割、Mark点定位和激光打孔等检测。


凌云光×JAI亮相无锡,展示全波段成像检测方案,助力“芯


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线阵成像解决方案 | 引线框架高速检测


凌云光×JAI亮相无锡,展示全波段成像检测方案,助力“芯


半导体16K高速高分辨检测方案,由JAI 16K分辨率、5μm像元的高速线阵相机,搭配施耐德镜头与Revox高亮光源组成。277kHz最高行频与1亿勒克斯超高亮度光源配合,面向半导体行业的大幅宽、高精度外观检测需求,可在保证图像质量的同时提升检测效率。


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多款前沿产品亮相 | 覆盖半导体多元检测场景


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展台还展示了半导体照明激光驱动等离子体光源(LDLS)、Revox超亮光纤可见光光源、JAI真彩色棱镜相机、JAI紫外面阵相机及PCO紫外高灵敏相机等产品,覆盖了从可见光到紫外、红外的宽光谱范围,可适配半导体掩膜版制版、晶圆键合、引导切割等不同工艺节点的检测需求。




本次参展是凌云光与JAI在半导体成像检测领域的一次集中亮相。凌云光将继续围绕“以光为眼,为芯把关"的方向,推进产品方案在半导体产线的实际落地,助力提升国产制造的良率与效率。